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  • 化学机械研磨工艺中的铜腐蚀研究 百度学术

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  • 应用于一体化芯片晶圆级集成的铜孔表面平坦 化工艺设计与实现

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  • 化学机械研磨(CMP) HORIBA

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  • 湖州磁力研磨机械有限公司

    湖州磁力研磨机械有限公司是一家专注于研磨抛光设备和研磨抛光材料研究、开发、生产及销售的高科技企业,并在全国各地设有分支机构。 公司技术和研发实力雄厚。 公司自成立以来,始终坚持以人才为本、诚信立业的经营原则,荟萃业界精英,引进国外 2024年1月27日  添源研磨专业研磨抛光多年,是研磨行业领导者。主要生产各种:震动研磨机,振动研磨机,研磨抛光机,三次元振动研磨机,滚筒研磨机,高速离心机,脱水烘干机,自动铆钉机等产品,操作简单方便,广受国内外欢迎。优质研磨抛光机,认准添源研磨企业,品质有保证。高效环保溜光机 自动化研磨溜光机械 振动研磨机,震动研磨机

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    摘要: 铜作为新的互连材料被引入集成电路的制造之后,以及大马士革工艺的采用,带来了新的工艺挑战铜在化学机械研磨面临的铜腐蚀问题使得产品良率和可靠性都受到威胁本文通过实验,量化研究了生产过程中的防腐蚀问题,并通过实验得到了局部的腐蚀防止办法,研磨前的晶圆预处理,避免水与研磨 金属磨粉机器金属磨粉机器批发、促销价格、产地货源 南阳艾绒磨粉机 金属铜铁铝磨粉设备 木材磨粉机 金刚砂磨粉机 郑州嵩岳机械设备有限公司 7年 月均发货速度 供应食品304超微研磨机工业大型超细粉碎机价格68500一71800 江铜研磨机械价格磨粉机设备

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