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化学机械研磨工艺中的铜腐蚀研究 百度学术
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化学机械研磨(CMP) HORIBA
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湖州磁力研磨机械有限公司
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化学机械研磨工艺中的铜腐蚀研究百度文库
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化学机械研磨工艺中的铜腐蚀研究 百度学术
摘要: 铜作为新的互连材料被引入集成电路的制造之后,以及大马士革工艺的采用,带来了新的工艺挑战铜在化学机械研磨面临的铜腐蚀问题使得产品良率和可靠性都受到威胁本文通过实验,量化研究了生产过程中的防腐蚀问题,并通过实验得到了局部的腐蚀防止办法,研磨前的晶圆预处理,避免水与研磨 金属磨粉机器金属磨粉机器批发、促销价格、产地货源 南阳艾绒磨粉机 金属铜铁铝磨粉设备 木材磨粉机 金刚砂磨粉机 郑州嵩岳机械设备有限公司 7年 月均发货速度 供应食品304超微研磨机工业大型超细粉碎机价格68500一71800 江铜研磨机械价格磨粉机设备