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氮化硅设备
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氮化硅生产中的常用设备
2024年3月2日 氮化硅生产中的常用设备 氮化硅是一种重要的高性能材料，它常被用于制作抗磨损、抗腐蚀要求较高的元器件。 在高温加热类的部件，如高温管道制作中常被用到 2020年4月20日 氮化硅(Si3N4) 薄膜是一种应用广泛的介质材料。 作为非晶绝缘物质，氮化硅膜的介质特性优于二氧化硅膜，具有对可动离子阻挡能力强、结构致密、针孔密度小 北方华创12英寸氮化硅LPCVD获突破，进入中国IC制造龙头企业
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氮化硅陶瓷在四大领域的研究及应用进展 CERADIR 先进
1970年1月1日 制备氮化硅陶瓷材料首先需要获得氮化硅粉体,再经过成型、烧结等工艺,最后得到所需要的氮化硅陶瓷,其中主要成型工艺有干压成型、冷等静压成型、流延成型 [4] , 5 天之前 THEORIS SN302D主要用于12英寸晶圆上的氮化硅薄膜低压化学气相沉积工艺，可覆盖高、低温氮化硅薄膜沉积。 该机台可进行全自动工艺流程，系统主要由传输模 12英寸立式低压化学气相沉积氮化硅炉 产品管理 北方华创
中国建材集团有限公司
2018年12月7日 氮化硅陶瓷是一种新型的先进陶瓷材料，与其他材料相比具有优异的性能，其硬度仅次于金刚石，重量仅为钢的1/3，同时具有耐高温、抗腐蚀、自润滑、透波等 氮化硅 氮化硅主要由Si3N4组成，耐热冲击性极强和高温强度极佳。 这些特性使其成为汽车发动机和燃气轮机中的理想材料。 它可用被应用于涡轮增压器转子、柴油发动机中的发热插头和带电插拔中，还被用于很多 氮化硅精密陶瓷（高级陶瓷）京瓷 KYOCERA
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氮化硅薄膜 Silicon Valley Microelectronics
氮化硅是一种化学化合物（Si3N4，SiN），具有优异的机械性能和热稳定性。 通常用作于硬掩模、电介质材料或钝化层。 氮化硅本质上非常坚硬，具有良好的抗热震性和抗氧化性。2024年1月24日 氮化硅绝缘环件的使用寿命比普通的氧化铝绝缘环件高出3倍以上。这意味着，使用氮化硅绝缘环件的电力设备 可以大大降低维护成本，提高设备的运行效率。氮化硅衬桶 再者，氮化硅绝缘环件的抗腐蚀性能也非常优秀。在湿润的环境中，普通 氮化硅绝缘环件：解密电力设备中的隐秘技术陶瓷材料
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氮化硅精密陶瓷（高级陶瓷）京瓷 KYOCERA
可从丰富的材料及卓越的特性中任意选择，京瓷精密陶瓷的氮化硅材料详细介绍页面。 请将您的要求告知我公司，例如：条件、形状和尺寸、精度和预算。我公司将从广泛的范围中为您推荐合适的材料和制造方法以满足您的需求。2024年6月27日 此外，氮化硅轴承球还具有良好的热稳定性和化学稳定性，能够在高温、强腐蚀环境中长时间稳定运行。氮化硅轴承球 一、低密度氮化硅轴承球在冶金机械行业的应用 1 提高生产效率：在冶金机械中，轴承的性能直接影响到设备的运转速度和精度。低密度氮化硅轴承球在冶金机械行业的应用设备性能降低
研发新型氮化硅陶瓷材料 增强特高压设备可靠性 CPEM
2023年3月14日 氮化硅陶瓷材料是一种由硅氮元素以共价键结合的化合物，具有良好的机械强度、绝缘性能、温度稳定性、导热性和耐腐蚀性能，是结构陶瓷家族中综合性能最为优异的一类，在特高压直流六氟化硫气体内绝缘电气设备中应用潜力巨大。在温度不高于80℃的条件下,采用ICPCVD设备,利用硅烷和氮气作为前驱体沉积氮化硅介质薄膜。 研究了沉积温度、ICP功率、硅烷与氮气流量比例、工作气压等因素对氮化硅薄膜应力的影响,并利用相关的理论合理解释了应力随不同工艺参数变化的原因。ICPCVD设备低温制备低应力氮化硅薄膜工艺的探索 中国
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中材高新氮化物陶瓷有限公司轴承及滚动体, 精密加工
2023年8月29日 国内最早的氮化硅材料研发单位之一 中材高新氮化物陶瓷有限公司隶属于中国建材集团，是一家国家级高新技术企业，国家级“专精特新”小巨人企业，省级瞪羚企业。 公司自1978年开始从事氮化硅陶瓷的研究，是国内最早的氮化硅材料研发单位之一，申请 2024年2月21日 氮化硅陶瓷球在电子设备中的应用：1 微型轴承：氮化硅陶瓷球的低摩擦系数和高硬度特性，使其成为微型轴承的理想材料。与传统金属轴承相比，氮化硅陶瓷轴承具有更高的转速、更长的寿命和更低的能耗。2 电子封装：氮化硅陶瓷球具有优异 氮化硅陶瓷球：提升电子设备性能的新材料
N2 Purge在LPCVD炉管氮化硅工艺中的应用电子工程世界
2009年6月10日 结论 利用N2 purge对石英壁上氮化硅薄膜有效清除的现象，合理利用机台生产的间歇期，通过N2来带走可能在未来生产过程中剥落下来的氮化硅薄膜，成功地解决了氮化硅生产中的particle问题。 实际生产中的结果显示，particle总数成功地从2038颗降低至1319颗，机台 2024年3月26日 电绝缘氮化硅陶瓷球轴承的优势在于其显著增强了设备的可靠性，有效延长了设备的使用寿命，并大幅度降低了维护成本。 此外，该轴承还能够避免电腐蚀所带来的损害，为设备的稳定运行提供了有力保障。氮化硅材料在陶瓷球轴承中的应用分析设备运行绝缘
光学设备检测氮化硅膜厚 豆丁网
2011年3月15日 摘要：氮化硅膜的厚度对于太阳能电池片的转换效率有着比较重要的影响。使用光学设备可以 大大加快检测氮化硅膜的速度。为了证明其检测的精度以及可靠性，并普及这种新颖的检测方式，作者首先从理论上验证了氮化硅膜的颜色可以通过光学设备区分开来。2020年4月9日 氮化硅毛胚球放置于充满磁流体、磨料及水混合物的圆柱形容器内，其下是一排条状永磁体。 磁流体是由强磁性粒子（通常是胶质 Fe 3 O 4 ）分散在液体中所形成的一种胶体悬浮物，具有磁特性，将一 让氮化硅陶瓷球“圆又亮”的精密研磨技术粉体资讯
一种用于氮化硅沉积的磁控溅射镀膜设备及镀膜方法[发明专利
2015年4月15日 2根据权利要求 1 所述的用于氮化硅沉积的磁控溅射镀膜设备，其特征在于，所述工 字钢腿子 (8) 为两条。 3根据权利要求 1 所述的用于氮化硅沉积的磁控溅射镀膜设备，其特征在于，前三级 缓冲室 (4，3，2) 和后三级缓冲室 (5，6，7) 之间均设置有水管 2018年12月7日 中国建材集团党委书记、董事长宋志平，副董事长李新华，中材高新材料股份有限公司（以下简称中材高新）董事长刘燕、党委书记阎法强、总裁张伟儒等人共同见证了这一历史时刻。 奠基仪式现场 这条氮化硅陶瓷生产线由中国建材集团所属中材高新自主研发 中国建材集团有限公司
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氮化硅精密陶瓷（高级陶瓷）京瓷 KYOCERA
氮化硅 氮化硅主要由Si3N4组成，耐热冲击性极强和高温强度极佳。 这些特性使其成为汽车发动机和燃气轮机中的理想材料。 它可用被应用于涡轮增压器转子、柴油发动机中的发热插头和带电插拔中，还被用于很多其它不同应用中。2022年6月17日 氮化硅 ，散热基板中的“满分”材料 相比其他材料，陶瓷类基板性能更加优异，因此选择陶瓷材质作为基板会有更加广阔的前景 图 正天新材陶瓷基板流延车间 凭借先进的工艺与设备，正天新材在攻克高导热、高性能氮化硅基板方面已经走在 正天新材氮化硅基板：从“卡脖子”到“掰腕子” 艾邦半导体网
芯恺半导体设备(徐州)有限责任公司产品服务
低压炉主要实现不同类型的薄膜在晶圆表面的沉积工艺，主要是多晶硅，氮化硅，氧化硅等薄膜。 低压设备分为低压力化学气相沉积和原子层沉积。 【常压设备】 主要应用工艺是氧化、退火和合金，炉管的工作温度为 300~ 110 0 度，压力为一个标准大气压，一般使用氢气加氧气，或者氮气等。2024年4月30日 综上所述，氮化硅磨介球凭借其出色的综合性能，不仅是当前精密研磨技术中的重要一环，更是未来设备行业发展变革不可或缺的支持力量。 展望未来，我们期待更多的技术创新能加速这一进程，让氮化硅磨介球成为推动我国乃至全球产业链迈向更高水平的强 氮化硅磨介球：精密研磨，助力设备行业升级领域制造技术
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氮化硅加热器：高效、环保、耐用的加热新星 CERADIR
2023年12月27日 氮化硅加热器也被广泛应用于各种家用电器中。 例如直热及贮水式、节能快热式电热水器、快热式液体加热、电暖、冷热饮机、空调加热器、直热水龙头、恒温器以及蒸气发生器等。这些设备使用氮化硅加热器可以实现快速加热、节能环保、安全可靠等功能。2024年1月24日 氮化硅绝缘环件的使用寿命比普通的氧化铝绝缘环件高出3倍以上。这意味着，使用氮化硅绝缘环件的电力设备 可以大大降低维护成本，提高设备的运行效率。氮化硅衬桶 再者，氮化硅绝缘环件的抗腐蚀性能也非常优秀。在湿润的环境中，普通 氮化硅绝缘环件：解密电力设备中的隐秘技术陶瓷材料
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研发新型氮化硅陶瓷材料 增强特高压设备可靠性 CPEM
2023年3月14日 氮化硅陶瓷材料是一种由硅氮元素以共价键结合的化合物，具有良好的机械强度、绝缘性能、温度稳定性、导热性和耐腐蚀性能，是结构陶瓷家族中综合性能最为优异的一类，在特高压直流六氟化硫气体内绝缘电气设备中应用潜力巨大。在温度不高于80℃的条件下,采用ICPCVD设备,利用硅烷和氮气作为前驱体沉积氮化硅介质薄膜。 研究了沉积温度、ICP功率、硅烷与氮气流量比例、工作气压等因素对氮化硅薄膜应力的影响,并利用相关的理论合理解释了应力随不同工艺参数变化的原因。ICPCVD设备低温制备低应力氮化硅薄膜工艺的探索 中国
中材高新氮化物陶瓷有限公司轴承及滚动体, 精密加工
2023年8月29日 国内最早的氮化硅材料研发单位之一 中材高新氮化物陶瓷有限公司隶属于中国建材集团，是一家国家级高新技术企业，国家级“专精特新”小巨人企业，省级瞪羚企业。 公司自1978年开始从事氮化硅陶瓷的研究，是国内最早的氮化硅材料研发单位之一，申请 2024年2月21日 氮化硅陶瓷球在电子设备中的应用：1 微型轴承：氮化硅陶瓷球的低摩擦系数和高硬度特性，使其成为微型轴承的理想材料。与传统金属轴承相比，氮化硅陶瓷轴承具有更高的转速、更长的寿命和更低的能耗。2 电子封装：氮化硅陶瓷球具有优异 氮化硅陶瓷球：提升电子设备性能的新材料
N2 Purge在LPCVD炉管氮化硅工艺中的应用电子工程世界
2009年6月10日 结论 利用N2 purge对石英壁上氮化硅薄膜有效清除的现象，合理利用机台生产的间歇期，通过N2来带走可能在未来生产过程中剥落下来的氮化硅薄膜，成功地解决了氮化硅生产中的particle问题。 实际生产中的结果显示，particle总数成功地从2038颗降低至1319颗，机台 2024年3月26日 电绝缘氮化硅陶瓷球轴承的优势在于其显著增强了设备的可靠性，有效延长了设备的使用寿命，并大幅度降低了维护成本。 此外，该轴承还能够避免电腐蚀所带来的损害，为设备的稳定运行提供了有力保障。氮化硅材料在陶瓷球轴承中的应用分析设备运行绝缘